Vcsel芯片的市場(chǎng)應(yīng)用前景---深圳鐳爾特光電科技有限公司

940nm/850nmVcsel芯片封裝

二維碼 202

發(fā)表時(shí)間：2022-10-24 20:59

最新一代VCSEL芯片，已經(jīng)從最初的用于電信和數(shù)據(jù)通信領(lǐng)域，發(fā)展到用于高級(jí)3D傳感應(yīng)用，如人臉識(shí)別、汽車激光雷達(dá)和元宇宙。

文/Valerie Coffey-Rosich

如果我們能夠?qū)σ豁?xiàng)關(guān)鍵技術(shù)表示敬意，這項(xiàng)技術(shù)實(shí)現(xiàn)了當(dāng)今幾乎恒定的虛擬連接，那么小型激光源將在候選名單中名列前茅。特別值得一提的是，垂直腔面發(fā)射激光器（VCSEL，1987年發(fā)明的一個(gè)術(shù)語(yǔ)）這種小型激光器，經(jīng)過(guò)幾十年的發(fā)展，已經(jīng)能使人們實(shí)現(xiàn)高速網(wǎng)絡(luò)連接。今天，VCSEL的應(yīng)用已經(jīng)遠(yuǎn)遠(yuǎn)超出了電信領(lǐng)域。

1977年，貝爾實(shí)驗(yàn)室的研究員Kinichi Iga首次設(shè)想了一種微型單片半導(dǎo)體激光二極管，以此作為光纖傳輸中邊緣發(fā)射激光器的低成本替代品。二極管的發(fā)射垂直于薄膜表面，并且可以通過(guò)大的晶圓實(shí)現(xiàn)廉價(jià)的批量制造。Iga 1980年的原型，使用了一個(gè)刻蝕在磷化鎵銦砷化物（GaInAsP）薄膜上的6μm厚的腔，但其光學(xué)損耗很高。他堅(jiān)持不懈地致力于自己的想法；與此同時(shí)，其他研究人員對(duì)VCSEL的熱情也高漲起來(lái)。

直到1996年，霍尼韋爾國(guó)際公司才推出了第一款商用的VCSEL，這是一款850nm GaAs質(zhì)子注入二極管，能在室溫下工作，適用于小于300m的光纖鏈路。850nm的GaAs VCSEL很快成為用于數(shù)據(jù)通信的光纖網(wǎng)絡(luò)中，普遍存在的關(guān)鍵元件。VCSEL的快速成功歸功于其固有的單片設(shè)計(jì)，它能實(shí)現(xiàn)具有成本效益地批量生產(chǎn)、高可靠性、高光束質(zhì)量、快速調(diào)制帶寬，能滿足低功率要求以及通過(guò)陣列能實(shí)現(xiàn)可擴(kuò)展性。此外，分布式布拉格反射器和微腔設(shè)計(jì)的結(jié)合，實(shí)現(xiàn)了低功率密度閾值，這也使VCSEL成為了一種非常節(jié)能的光源。

今天，VCSEL的最大應(yīng)用是移動(dòng)電話中用于人臉識(shí)別的3D傳感功能。這需要一些新的進(jìn)步才能實(shí)現(xiàn)該功能。單個(gè)VCSEL對(duì)于消費(fèi)類設(shè)備來(lái)說(shuō)功率太低，可以通過(guò)直接在晶圓上制造VCSEL陣列來(lái)提升功率，并通過(guò)透鏡準(zhǔn)直以將功率放大到瓦級(jí)水平。據(jù)VCSEL制造商Lumentum公司的3D傳感副總裁Andre Wong表示，2D VCSEL芯片的大型陣列，最初是在4英寸晶圓上制造的，以滿足數(shù)據(jù)通信器件的應(yīng)用要求。但是要以具備經(jīng)濟(jì)效益的方式滿足消費(fèi)類設(shè)備的需求，必須要在6英寸晶圓上集成VCSEL陣列，6英寸是自20世紀(jì)90年代以來(lái)用于手機(jī)制造的晶圓尺寸。通過(guò)在每個(gè)晶圓上制造更多的VCSEL陣列，VCSEL技術(shù)可以充分利用成熟的GaAs 6英寸晶圓制造技術(shù)。大約在2015年，6英寸晶圓平臺(tái)開(kāi)始為VCSEL陣列生產(chǎn)提供了更高的規(guī)模經(jīng)濟(jì)性，并便于在晶圓劃片前進(jìn)行批量測(cè)試（見(jiàn)圖1）。

圖1：通快940nm以上的VCSEL陣列，可以在更寬泛的溫度范圍內(nèi)工作，并在消費(fèi)設(shè)備上的面部識(shí)別等NIR應(yīng)用中，提高了可靠性和使用壽命。

Wong說(shuō)：“6英寸晶圓實(shí)現(xiàn)了第一代VCSEL產(chǎn)品，其應(yīng)用包括眼球跟蹤、手勢(shì)識(shí)別和深度傳感。當(dāng)今的技術(shù)進(jìn)步，如多結(jié)堆疊、多層金屬和背面發(fā)射等，又實(shí)現(xiàn)了第2代VCSEL產(chǎn)品，它們能用于汽車激光雷達(dá)、AR/VR耳機(jī)和健康監(jiān)測(cè)等應(yīng)用?！?/span>

多結(jié)優(yōu)勢(shì)

早期的VCSEL具有單個(gè)p-n結(jié)，這限制了單個(gè)器件的感測(cè)范圍和輸出功率（通常小于10mW）。堆疊多個(gè)單結(jié)VCSEL實(shí)現(xiàn)了多結(jié)陣列，從而能獲得更高的峰值光功率密度和效率，并簡(jiǎn)化了驅(qū)動(dòng)器和封裝設(shè)計(jì)。多結(jié)設(shè)計(jì)允許VCSEL實(shí)現(xiàn)更遠(yuǎn)的感測(cè)距離，從而能實(shí)現(xiàn)更遠(yuǎn)距離的應(yīng)用，如用于汽車激光雷達(dá)中。同樣，多結(jié)VCSEL陣列由于更高的輸出功率和更復(fù)雜的光學(xué)集成能力，也能提供更好的短距離3D傳感。

多結(jié)技術(shù)的推出只有短短幾年的時(shí)間，目前多結(jié)VCSEL陣列產(chǎn)品已經(jīng)在高級(jí)消費(fèi)產(chǎn)品、汽車激光雷達(dá)和其他3D傳感應(yīng)用中實(shí)現(xiàn)了商業(yè)化。2021年10月，Lumentum宣布了業(yè)界首個(gè)三結(jié)VCSEL陣列，該陣列能夠在手機(jī)安全中實(shí)現(xiàn)飛行時(shí)間（ToF）生物特征3D傳感。10W泛光照明器采用高性能三結(jié)VCSEL陣列，使客戶能夠選擇三種不同的照明視場(chǎng)：60°×45°、72°×58°或更寬的110°×85°，能夠以更高的功率和更高的效率捕獲更多信息，并且不會(huì)失去眼睛安全功能。三結(jié)VCSEL陣列還將用于新興的工業(yè)類與消費(fèi)類人工智能物聯(lián)網(wǎng)（AIoT）應(yīng)用。隨后，Lumentum的研究人員展示了高性能的五結(jié)和六結(jié)VCSEL陣列，這是業(yè)界的首次突破。

可尋址VCSEL陣列

早期的激光雷達(dá)系統(tǒng)使用機(jī)械光束掃描，其中的旋轉(zhuǎn)激光模塊體積龐大，而且對(duì)于汽車應(yīng)用來(lái)說(shuō)過(guò)于脆弱。芯片上的多結(jié)VCSEL陣列，已經(jīng)能滿足激光雷達(dá)所需的感測(cè)范圍，并且具有魯棒性、小型化和價(jià)格優(yōu)勢(shì)，但典型的互連方案不支持能夠自適應(yīng)地照亮各種感興趣區(qū)域（ROI）的3D傳感，這一特性稱為可尋址能力或智能照明。

智能照明被定義為控制和獨(dú)立照明陣列的不同行或段的能力，VCSEL驅(qū)動(dòng)的汽車激光雷達(dá)需要智能照明，以直接成像場(chǎng)景，控制照明內(nèi)容，并減少功耗。隨著多層金屬和驅(qū)動(dòng)電子技術(shù)的突破，Lumentum于2021年11月宣布推出首款高性能1D和2D可尋址VCSEL陣列，用于汽車、消費(fèi)和工業(yè)激光雷達(dá)應(yīng)用以及3D傳感應(yīng)用?？蓪ぶ逢嚵械陌l(fā)射波長(zhǎng)為905nm和940nm，它們?yōu)槎叹嚯x和長(zhǎng)距離激光雷達(dá)提供了發(fā)展?jié)摿Α?/span>

“芯片上陣列的可尋址能力，可以消除對(duì)機(jī)械光束掃描的需求，這為自動(dòng)駕駛汽車和其他新興的3D傳感應(yīng)用開(kāi)辟了一個(gè)新的可能性，并有助于加速激光雷達(dá)應(yīng)用于更廣泛的系統(tǒng)中?！盠umentum 3D傳感產(chǎn)品線總監(jiān)Matt Everett說(shuō)。

更長(zhǎng)的波長(zhǎng)

940nm VCSEL陣列自2014年以來(lái)已經(jīng)發(fā)展成了一種主力產(chǎn)品，它能很容易地與現(xiàn)有的基于CMOS的GaAs傳感器配對(duì)。940nm非常適合戶外應(yīng)用，VCSEL的研發(fā)正在擴(kuò)展到更長(zhǎng)的波長(zhǎng)。

2022年3月，Lumentum與鍺硅（GeSi）技術(shù)領(lǐng)導(dǎo)者Artilux公司合作，展示了全球首個(gè)用于消費(fèi)者真無(wú)線立體聲耳機(jī)（TWS）等可穿戴設(shè)備的NIR/SWIR傳感平臺(tái)（見(jiàn)圖2和圖3）。

NIR/SWIR光學(xué)傳感平臺(tái)，將Lumentum的940nm和1380nm VCSEL陣列與Artilux的基于CMOS制程的GeSi傳感器相結(jié)合，創(chuàng)建了一個(gè)具有緊湊外觀和超低功耗要求的一體式模塊。未來(lái)的TWS耳塞式耳機(jī)，能夠提供耳朵內(nèi)部的皮膚偵測(cè)從而提供無(wú)縫聲音，同時(shí)保持電池壽命。與其他波長(zhǎng)相比，1380nm的SWIR光對(duì)眼睛來(lái)說(shuō)更安全，能更深地穿透組織而不會(huì)造成損傷。NIR/SWIR組合是汽車激光雷達(dá)、活體組織醫(yī)學(xué)成像以及手機(jī)和可穿戴設(shè)備中的消費(fèi)類3D傳感的理想選擇。

圖2：Artilux和Lumentum展示了世界上第一個(gè)NIR/SWIR傳感平臺(tái)，該平臺(tái)包含940nm和1380nm VCSEL陣列以及基于CMOS制程的傳感器，是可穿戴設(shè)備中眼睛安全的皮膚偵測(cè)的理想選擇。（圖片來(lái)源：Artilux）

圖3：Ambarella將Lumentum的10W泛光照明器模塊（芯片的中心部分）融入到ToF智能占用感測(cè)的參考設(shè)計(jì)原型中。

“世界正在等待SWIR VCSEL和傳感器的成熟，”Wong說(shuō)，“一旦它們發(fā)展成熟，帶來(lái)的好處將是巨大的?！?/span>

研究繼續(xù)在推進(jìn)可能的極限。最近中國(guó)的研究人員展示了可調(diào)諧工作在376~409nm波段的紫外A（UVA）光譜區(qū)的VCSEL，其閾值功率密度約為400kW/cm2；與此同時(shí)，Nichia也報(bào)告了藍(lán)光VCSEL成功實(shí)現(xiàn)了連續(xù)工作1000小時(shí)。[4]雖然藍(lán)光和紫外VCSEL的商業(yè)實(shí)現(xiàn)可能還需要一些時(shí)間，然而它們?cè)谌⑽⑼队皟x和視網(wǎng)膜掃描等應(yīng)用中的潛力令人振奮。

除了打破峰值光功率密度和效率的記錄外，VCSEL的可靠性也更加值得信賴。Lumentum聲稱，在過(guò)去的幾年中已售出超過(guò)10億個(gè)VCSEL陣列，這些產(chǎn)品沒(méi)有出現(xiàn)過(guò)任何故障。隨著技術(shù)的不斷進(jìn)步，下一代VCSEL無(wú)疑將很快在AR/VR設(shè)備中得到應(yīng)用，這是元宇宙（虛擬世界）發(fā)展的關(guān)鍵。

“VCSEL的應(yīng)用是無(wú)窮無(wú)盡的，”Wong說(shuō)，“VCSEL的應(yīng)用始于移動(dòng)電話，隨后拓展到汽車激光雷達(dá)和可穿戴式設(shè)備，現(xiàn)在我們又在訪問(wèn)控制、機(jī)器視覺(jué)、占用監(jiān)控和支付亭等場(chǎng)景看到了應(yīng)用機(jī)會(huì)。隨著波長(zhǎng)的延伸，VCSEL將會(huì)進(jìn)入AR/VR耳機(jī)市場(chǎng)和醫(yī)療保健市場(chǎng)。每隔幾個(gè)月，VCSEL就會(huì)有新的應(yīng)用出現(xiàn)?！?/span>

未來(lái)的電信

雖然未來(lái)的元宇宙和物聯(lián)網(wǎng)應(yīng)用與最初的電信應(yīng)用相去甚遠(yuǎn)，但是VCSEL仍然參與面向未來(lái)的電信計(jì)劃。數(shù)據(jù)中心和無(wú)線運(yùn)營(yíng)商正在朝著200G甚至800G的超規(guī)模連接發(fā)展，其中VCSEL將在降低成本、延遲和功率需求方面發(fā)揮重要作用。

今天的數(shù)據(jù)中心通常使用4×25G非歸零（NRZ）鏈路部署光學(xué)模塊，以實(shí)現(xiàn)100G的網(wǎng)絡(luò)速度，這需要模擬時(shí)鐘和數(shù)據(jù)恢復(fù)（CDR）芯片組。數(shù)據(jù)中心的下一個(gè)數(shù)據(jù)速率里程碑是使用光互連和CDR技術(shù)的200G、400G和800G，可以適應(yīng)“脈沖幅度調(diào)制4級(jí)”（PAM4）信令。

然而，傳統(tǒng)PAM4鏈路需要數(shù)字信號(hào)處理技術(shù)，這會(huì)需要更多的功率，因此增加了運(yùn)行成本。為了解決這一問(wèn)題，半導(dǎo)體供應(yīng)商Semtech公司最近推出了用于PAM4應(yīng)用（從數(shù)據(jù)中心到5G無(wú)線光通信）的Tri-Edge CDR平臺(tái)。

Tri-Edge CDR芯片組使用模擬技術(shù)，在低功率、低延遲解決方案中實(shí)現(xiàn)了一系列激光器，包括VCSEL、直接調(diào)制激光器和電吸收調(diào)制激光器，實(shí)現(xiàn)了<500ps的絕對(duì)延遲和接近零的延遲變化。集成芯片技術(shù)的這種創(chuàng)新，將使我們?cè)谖磥?lái)幾十年內(nèi)能以驚人的速度傳輸數(shù)據(jù)。

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